顺利。
IQC随后使用条码枪扫描了一下随工单上的条形码,通过MES系统录入了检验信息,然后将晶圆盒放回到了氮气柜。
直径200mm的晶圆,厚度只有150微米,差不多头发丝那么粗细。
接下来她又十分仔细地检查了一下晶圆是否位于卡槽上,若盒內晶圆未位于晶圆盒之卡槽上,就要提防盒內晶圆是否破片。
当晶圆经过领用流程顺利地流转到了减薄工序,Peter,Allan和罗高工都来了。
这一道破片的外观检验之所以放在开盒前进行,是为了避免发生质量事故的责任争议。
嘴巴上虽然这么说,不过他丝毫不敢怠慢,先做了一片Dummy,经过确认后没有问题,就采用经过验证的工艺条件开始了生产。
当减薄机停下来后,谢剑风取下晶圆,在日光灯下仔细确认了一下,完好无损。
如果减薄出现问题的话,一切努力都是枉然,辛佟心中暗暗祈祷。
检验合格的晶圆经过标识之后,将重新放回到氮气柜保存,等待领用生产。
辛佟突然感觉那一片晶圆就好像是自己刚出生的孩子一般,需要被珍爱和宠溺。
检验员面色自若,她十分娴熟地使用真空吸笔吸取晶圆,将晶圆放置在100X显微镜的载物台上,整个操作过程一气呵成,一看就是一个胆大细心的老员工。
他拍了拍谢剑风的肩膀:“谢工,辛苦了!”
“你们接收到MPC5200的晶圆了吗?”辛佟逮住了现场的检验员问道。
“我们已经接收到了,仓库也已经在SAP系统报检了,这个晶圆正保存在氮气柜里!”穿着红色静电衣的IQC回答道。
对于摩托罗拉这个项目而言,如果发生碎片这样的质量事故,最大的损失还不是钱,而是这个项目会Delay很长时间,也会极大地损伤客户的合作信心。
一定不能让公主失望!
还好,一切都还好!
经过确认没有破片之忧后,检验员戴好防静电手套,小心翼翼地打开了透明的晶圆盒。
“老大,我们已经验证过工艺,你放心,不会有事的!”工序工程师谢剑风亲自披挂上阵。
惊心动魄的时刻到了,辛佟屏住了呼吸,晶圆是一个很脆弱的薄片,操作过程稍有不慎,就会把它损伤到。
“美女,请帮忙加急检验!”辛佟急切地说道。
终于成功了,辛佟如梦方醒,脸上露出了胜利的微笑。
“好的!”那一名IQC立刻站起身来,从氮气柜中小心翼翼地取出了一个透明的晶圆盒,轻轻放在了检验台上。
开盒前发生的晶圆碎片事故,晶圆厂通常会承担责任予以赔偿的。
工程总监Peter目不转睛地盯着正在减薄之中的晶圆,脑海中不由自主地浮现出老板的殷殷嘱托,要是第一个工序失败了,就真辜负了老板的信任了。
项目通常关注三个要素,时间、质量和成本,能赶一点时间算一点。
冷静下来的Peter冲着谢剑风竖起了大拇指:“谢工,你今天干得不错!”
“Peter,你什么时候给我涨工资?我关心的是工资的事情!”谢工笑着说道。
“没有问题!”老外爽快地答应了下来。
感谢一上晴天的打赏,她的《与死对头互换身体后我佛了》写得非常感人,有空可以移步一读。
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